Kje se uporabljajo blazinice za poliranje silikonskih rezin?

Najpogosteje uporabljen izdelek so polirane rezine, drugi izdelki iz silicijevih rezin pa se proizvajajo s sekundarno obdelavo na osnovi poliranih rezin.
Polirane rezine so najbolj osnovne in pogosto uporabljene silicijeve rezine. Polirane rezine se lahko neposredno uporabljajo za izdelavo polprevodniških naprav, ki se pogosto uporabljajo v pomnilniških čipih in napajalnih napravah, lahko pa se uporabljajo tudi kot substratni materiali za epitaksialne rezine, silicijeve rezine SOI in druge vrste silicijevih rezin.
Z nenehnim krčenjem značilne širine črte integriranih vezij in čedalje boljšo natančnostjo litografije bodo izjemno majhne neravnine na silicijevi rezini povzročile deformacijo in dislokacijo grafike integriranega vezja. Tehnologija izdelave silicijevih rezin se sooča z vedno višjimi zahtevami in izzivi. Velikost in čistoča površine čipa prav tako neposredno vplivata na izkoristek polprevodniških izdelkov.
Zato je postopek poliranja zelo pomemben za izboljšanje ravnosti in čistoče površine silicijeve rezine. Glavno načelo je doseči planarizacijo površine polprevodniške silicijeve rezine in zmanjšati hrapavost z odstranitvijo preostalega poškodovanega sloja na obdelani površini.