Ko je rezina šla skozi sprednji postopek, je priprava čipov zaključena in jo je treba razrezati, da se ločijo čipi na rezini, in končno zapakira; poleg tega obstajajo tudi nekateri postopki in testi, ki zahtevajo, da se substrat rezin iz čistega silicija za uporabo razreže na majhne kvadratne kose.
Razlika med UV filmom in modrim filmom
Pred rezanjem oblata na zadnjo stran oblata nalepimo plast folije. Funkcija te plasti filma je, da prilepi odrezke na film, kar lahko ohrani zrno nedotaknjeno med postopkom rezanja in zmanjša težave z lomljenjem, premikom in padcem med postopkom rezanja.
V dejanski proizvodnji folija, ki se uporablja za pritrjevanje rezin in čipov, običajno uporablja UV folijo ali modro folijo.
UV film: uporablja se predvsem v postopku redčenja rezin;
Modri film: uporablja se predvsem pri rezanju rezin na rezine;
Slika 1. Značilnosti UV in modrih filmov UV in modri filmi
Tako UV folija kot modra folija sta lepljiva. Stopnja lepljivosti je običajno izražena s stopnjo lepljivega luščenja, običajno v enotah N/20 mm ali N/25 mm. 1 N/20 mm pomeni, da je testni trak širok 20 mm in je sila, ki je potrebna, da ga odlepite s testne plošče pod kotom luščenja 180 stopinj, 1 N.
UV folija je posebna prevleka, ki se nanese na površino substrata PET folije, da blokira ultravijolično svetlobo in kratkovalovno vidno svetlobo. Slika 2 je splošen diagram strukture UV filma.
Na splošno je UV folija sestavljena iz treh plasti. Osnovni material je polivinilklorid, lepljiva plast je na sredini, ločilna folija pa meji na lepljivo plast. Nekateri modeli UV folije nimajo te ločilne folije.
Slika 2. Struktura UV filma
UV film se običajno imenuje ultravijolični trak. Je razmeroma drago in ima kratek čas veljavnosti, ko se ne uporablja. Razdeljen je na tri vrste: visoko viskoznost, srednja viskoznost in nizka viskoznost.
Viskoznost UV filma z visoko viskoznostjo je 5000 mN/20 mm ~ 12000 mN/20 mm pred ultravijoličnim obsevanjem. Po ultravijoličnem obsevanju je viskoznost luščenja pod 1000 mN/20 mm;
Viskoznost luščenja UV filma z nizko viskoznostjo je približno 1000 mN/20 mm pred ultravijoličnim obsevanjem. Po ultravijoličnem obsevanju viskoznost luščenja pade na približno 100 mN/20 mm.
Po ultravijoličnem obsevanju na površini rezin UV-folije z nizko viskoznostjo ne bo ostankov lepila, zrna pa je enostavno odstraniti.
UV-folija ima ustrezno ekspanzijo in voda med postopkom redčenja in rezanja ne bo prodrla med zrno in trak.
Modri film se običajno imenuje elektronski trak. Je razmeroma poceni. Je moder film s konstantno viskoznostjo. Njegova stopnja luščenja viskoznosti je običajno 100 ~ 3000 mN/20 mm. Zaradi vpliva temperature bo proizvedlo ostanke lepila. V nasprotju s tem je UV folija bolj stabilna in ima manj ostankov lepila kot modra folija.
V primerjavi z modrim filmom ima UV film velike prednosti zaradi spremenljive stopnje luščenja viskoznosti. Njegove glavne funkcije so: fiksiranje rezine med redčenjem rezine; za zaščito čipa med rezanjem oblata, da prepreči odpadanje ali zlom roba; za obračanje in prenašanje oblata, da preprečite, da bi že narezani ostružki odpadli.
Standardizacija uporabe različnih parametrov UV filma in modrega filma ter izbira ustreznega UV filma ali modrega filma glede na tehnologijo obdelave, ki jo zahteva čip, lahko prihranita stroške in prispevata k industrijskemu razvoju čipov.
Rezanje z rezili ali žaganje z rezili
Zaradi velikega trenja med rezanjem je treba DI vodo (deionizirano vodo) neprekinjeno pršiti iz vseh smeri. Poleg tega je treba rotor pritrditi z diamantnimi delci, da ga je mogoče bolje rezati.
V tem času mora biti rez (debelina rezila: širina utora) enakomeren in ne sme presegati širine utora za pero. Žaganje je že dolgo časa najbolj razširjen tradicionalni način rezanja, njegova največja prednost pa je v tem, da lahko v kratkem času razrežemo veliko število oblatov.
Če pa se hitrost podajanja rezine močno poveča, se poveča možnost luščenja roba majhnega ostružka. Zato je treba število vrtljajev propelerja nadzorovati na približno 30,000-krat na minuto.
Optimizacija rezila
Za sprejemanje novih izzivov rezanja je potrebno sodelovanje med sistemi za rezanje in rezili. To še posebej velja za aplikacije višjega cenovnega razreda.
Rezilo ima pomembno vlogo pri optimizaciji procesa. Poleg velikosti trije ključni parametri določajo lastnosti rezila: velikost diamanta (abraziva), vsebnost diamanta in vrsta veziva.
Vezivo je matrica različnih kovin in/ali diamantnih abrazivov, razporejenih v njem. Na izbiro rezila lahko vplivajo tudi drugi dejavniki, kot sta pomik in hitrost vretena.