Tehnologija predelave monokristalne silicijeve rezine

Hranjenje → Taljenje → Rast vratu → Rast ramen → Izometrična rast → Rast repa
(1) Hranjenje: dajte polisilicijevo surovino in nečistoče v kremenčev lonček. Vrsta nečistoč je odvisna od N ali P vrste upora. Vrste nečistoč so bor, fosfor, antimon in arzen.
(2) Taljenje: Po dodajanju polisilicijevih surovin v kremenčev lonček je treba peč za rast kristalov zapreti in izprazniti, nato pa napolniti z argonom visoke čistosti, da se ohrani določeno območje tlaka, in nato vklopiti moč grafitnega grelnika, da segrejemo na temperaturo taljenja (1420 stopinj), polisilicijeva surovina se stopi.
(3) Rast vratu: ko je temperatura taline silicija stabilna, počasi potopite zarodni kristal v talino silicija. Zaradi toplotne napetosti, ko je zarodni kristal v stiku s poljem taline silicija, bodo v zarodnem kristalu nastale dislokacije, ki jih je treba odstraniti z rastjo vratu. Pri rasti vratu gre za hitro dviganje semenskega kristala navzgor, tako da se premer zraslega semenskega kristala zmanjša na določeno velikost (4-6 mm). Ker dislokacijska črta tvori kot z rastno osjo, dokler je vrat dovolj dolg, lahko dislokacija zraste iz kristalne površine in proizvede kristal z nič dislokacijami.
(4) Ramena rast: Ko zraste tanek vrat, je treba temperaturo in hitrost vlečenja znižati, tako da se premer kristala postopoma poveča na zahtevano velikost.
(5) Rast z enakim premerom: Ko zrastejo tanek vrat in ramena, se lahko premer ingota vzdržuje med plus ali minus 2 mm z nenehnim prilagajanjem hitrosti vlečenja in temperature. Del s fiksnim premerom se imenuje del izodiametra. Monokristalne silicijeve rezine so vzete iz kosov enakega premera.
(6) Rast repa: Ko zraste del z enakim premerom, če se ingot takoj loči od površine tekočine, bo toplotna obremenitev povzročila dislokacije in črte zdrsa v ingotu. Zato, da bi se izognili tej težavi, je treba premer ingota postopoma zmanjševati, dokler ne postane ostra konica in se loči od površine tekočine. Ta proces se imenuje rast repa. Gojeni kristalni ingot se dvigne v zgornjo komoro peči, da se nekaj časa ohladi, nato pa se vzame ven, da se zaključi cikel rasti.