Kako polirati silicijeve rezine

Priprava pred poliranjem

Pred začetkom dejanskega postopka poliranja je nekaj pomembnih pripravljalnih korakov:

Čiščenje

Temeljito očistite površine rezin, da odstranite morebitne ostanke delcev ali kemičnih ostankov predhodnih postopkov, kot sta lepljenje ali jedkanje. Kontaminacija lahko povzroči površinske napake med poliranjem. Priporočamo čiščenje preko:

SC-1 čisto- Vroči amonijev hidroksid, vodikov peroksid in voda v razmerju 1:1:5 pri 75 stopinjah 10 minut

SC-2 čisto- Vroča klorovodikova kislina, vodikov peroksid in voda v razmerju 1:1:6 pri 75 stopinjah 10 minut

Hitro izpiranje (QDR)- Več kopeli s prelivajočo se vodo po 2-3 minut

Inšpekcija

Po čiščenju v načinu svetlega polja skrbno preglejte površine rezin, da preverite:

Ostanki delcev ali madežev

Jamice, praske ali poškodbe pod površino zaradi predhodnih postopkov

Druge fizične napake, kot so robovi/razpoke

Na tej stopnji pred poliranjem odpravite morebitne težave, da preprečite poslabšanje napak.

Nanesite nosilni sloj

Na zadnjo stran rezine nanesite lepilni podložni sloj, da zagotovite enakomerno podporo med poliranjem in preprečite poškodbe zadnje strani:

Nanesite 1-2 plasti UV-trdljivega lepila

Pred poliranjem zagotovite, da je popolnoma strjen

Tabela 1. Priporočene nosilne plasti

Oprema za poliranje

Ključne zmogljivosti:

Spremenljiva hitrost vretena do 120 vrt./min

Programabilna tlačna sila/tlak do 8 psi

Spremljanje navora v realnem času

Avtomatizirano doziranje/hranjenje gnojnice

Integrirane čistilne postaje za naknadno poliranje

Koraki postopka poliranja

Glavni koraki poliranja so opisani spodaj:

Pripravite/oblecite polirno blazinico

Izberite ustrezen material blazinice (glejte priporočila pozneje)

Kondicionirajte nove ploščice z diamantno impregnacijo

Pred vsakim tekom obložite blazinico z diamantnim diskom, da osvežite površino

Mount rezina

Trdno pritrdite rezino na vpenjalno glavo/nosilec

Pravilno sredite rezino, da zagotovite enakomerno poliranje

Nastavite parametre procesa

Hitrost vretena -30-60 vrt./mintipično

Pritisk -3-5 psitipično

Stopnja dovajanja gnojevke -100-250 ml/min

Trajanje postopka - odvisno od potrebnega materiala

Začnite cikel poliranja

Začnite vrteti vreteno

Gnojnico neprekinjeno dozirajte na sredino blazinice

Spustite vpenjalno glavo za rezine in vtaknite blazinico na nastavljeni pritisk

Spremljajte navor skozi ves proces

Čiščenje po poliranju

Temeljito čiščenje po poliranju je ključnega pomena za odstranjevanje ostankov in zmanjšanje napak:

Primarno čisto- Površine rezin očistite z raztopino amonijevega hidroksida ali acetata

Sekundarno čisto- Kratek potop v HF ali druge kislinske raztopine za odstranitev ostankov kemikalij

QDR – Več prelivnih kopeli po 3-5 minut

Končane rezine po čiščenju ponovno preglejte. Preden nadaljujete z naslednjimi koraki postopka, ponovno obdelajte/polirajte vsa potrebna področja.

Optimizacija procesa poliranja silicijevih rezin

Obstaja več ključnih parametrov, ki jih je mogoče prilagoditi za optimizacijo postopka poliranja rezin:

Uporabljena tlačna sila/tlak

Višji pritisk poveča stopnjo poliranja/odstranjevanja materiala

Prevelik pritisk povzroči zaokrožitev robov, mikrorazpoke

3-5 psi optimalno za večino aplikacij

Hitrost vrtenja

Poveča temperaturo na vmesniku blazinice in rezin

Višje hitrosti povečajo hitrost poliranja do določene točke

30-60 vrt./minprimeren za večino šaržnih procesov

Materiali za blazinice

Izbira materiala blazinice vpliva na ključne dejavnike, kot so stopnja poliranja, končna obdelava površine in stopnje napak:

Tabela 2. Primerjave materialov blazinic

Mehkejše blazinice se režejo hitreje, vendar končna obdelava ni tako gladka

Trde blazinice počasnejše poliranje in višje bruniranje

Večstopenjski procesi so idealni za uporabo trše končne blazinice

Optimizacija gnojevke

Uravnoteženje vsebnosti abraziva/kemije/pH/stopnje pretoka je kritično

Prilagodite formulacije gnojevke nanosu in materialu blazinice

Nenehno testirajte in izboljšujte naše gnojevke za optimalne rezultate

Analiza po poliranju

Ocenjevanje in analiziranje kakovosti rezin po poliranju je nujno, da zagotovimo izpolnjevanje specifikacij in prepoznamo izboljšave postopka. Ključne analize vključujejo:

Površinska hrapavost

Izmerite podatke Ra, RMS, PSD in HF

Spremljajte sliko dolge valovne dolžine/ploskost

Prepoznajte praske, jamice, delce, potrebno dodatno poliranje

Debelina filma

Potrdite odstranitev plasti zahtevane debeline

Preverite enakomernost debeline po površini rezin

Stopnje meglice

Izmerite % meglice in porazdelitev

Zagotovite minimalne preostale poškodbe površine glede na specifikacije uporabe

Pregled napak

Uporabite svetlo polje, temno polje itd., da razkrijete preostale napake

Primerjajte ravni/vrste napak pred in po poliranju

Povratne informacije za prilagoditev blazinice, gnojevke, parametrov

Naša integrirana meroslovna orodja zagotavljajo celovite analitične zmogljivosti za optimalen nadzor procesa.

Površinska obdelava

Ra< 1 angstrom možen

RMS< 2 angstroma tipična specifikacija

Zmanjšajte mikrohrapavost z optimizacijo postopka

Variacija skupne debeline (TTV)

TTV < 1 um po premeru rezine je zlahka dosegljiv

TIR < 3 ločne sekunde na veliki optiki je izvedljivo

Dokazana subnanometrska enakomernost debeline

Gostota napak

Nič nano prask s kondicioniranjem blazinice, optimizacija podajanja

< 5 defects/cm^2 over large areas

Zaznavanje in zmanjševanje delcev do<0.1 um

Stopite v stik z našo inženirsko ekipo, da pregleda vaše tehnične zahteve in prilagodili bomo obsežen postopek poliranja, da bo zadovoljil tudi najstrožje specifikacije.