Kaj je zareza za rezine?
Zareza je majhen utor, izrezan neposredno pod silicijevo rezino, običajno v obliki črke V ali U. Notch ima dve funkciji. Eden je označiti kristalno orientacijo silicijeve rezine, kot npr<100>, <110>, <111>, itd. Druga funkcija je omogočiti pravilno namestitev in poravnavo silicijeve rezine v opremi za proizvodnjo polprevodnikov. Na splošno so zareze v 8-palčnih in 12-palčnih rezinah.
Kako izgleda Notch?
Velikost zareze mora strogo ustrezati standardom SEMI, kot je prikazano na zgornji sliki:
1. Vw predstavlja skupno širino zareze, njena velikost pa je povezana s premerom in debelino silicijeve rezine.
2. Vh je globina zareze, ki označuje navpično razdaljo od roba silicijeve rezine do dna utora. Običajno se giblje od 1.0 do 1,25 mm. Vh je ključnega pomena za zagotovitev natančnosti poravnave zareze.
3. AngV, to je Notch Angle. AngV je kot zareze, ki je kot med robovi utora na obeh straneh. Običajno je med 89 stopinj in 95 stopinj. Ta kot ima odločilno vlogo pri geometriji in položaju zareze.
4. R1 in R2 predstavljata polmera vogalov na obeh straneh zareze. Ta dva radija določata gladkost vogalov utorov, vplivata na koncentracijo napetosti zareze in vplivata na mehanske lastnosti silicijeve rezine.
5. Vr je polmer ukrivljenosti na dnu zareze, ki označuje velikost loka na dnu utora. Vr lahko spremeni obliko krivulje in gladkost zareze. Večji Vr lahko naredi dno zareze bolj položno, kar pomaga zmanjšati koncentracijo napetosti.
6. Usmerjenost zareze: Smer utora je vzporedna s specifično orientacijo kristala rezine in dovoljeno je odstopanje ±2 stopinji.
