Kakšna je enakomernost nanašanja tankega filma?
Enotnost tankega filma se nanaša na doslednost porazdelitve debeline tankega filma po celotni rezini. Dobra enakomernost pomeni, da je debelina tankega filma zelo blizu na vsakem mestu na rezini.
Katere so vrste enotnosti tankega filma?
Na splošno veljajo naslednje vrste:
● Enotnost znotraj rezine: Enotnost znotraj ene rezine.
● Enakomernost med rezinami: Izenačenost med različnimi rezinami.
● Enotnost serije do serije: Izenačenost med različnimi serijami oblatov.
Kako se izračuna enotnost?
Če za primer vzamemo enotnost znotraj rezine, se njen standardni odklon izračuna po formuli:
Ta formula izračuna kvadratni koren povprečja kvadratov razlik med vsako podatkovno točko in srednjo vrednostjo podatkov.
σ (standardni odklon): Predstavlja stopnjo razpršenosti podatkov; večji kot je standardni odklon, večja je disperzija.
N: skupno število izmerjenih podatkovnih točk.
Ti: Vrednost debeline i-te podatkovne točke.
Pomeni: povprečna vrednost vseh podatkovnih točk.
(ti−povprečje)^2: razlika na kvadrat med vsako podatkovno točko in srednjo vrednostjo.
∑: Seštevek.
Formula je nekoliko težko razumljiva, zato je tukaj primer:
Predpostavimo, da imamo nabor podatkovnih točk za debelino tankega filma: 55,1, 54,8, 55,3, 54,9, 55.0, 54,7, 55,2, 54,9, 55,1, 54,8.
●Najprej izračunajte povprečje teh 10 točk: povprečje=54.98.
●Nato izračunajte kvadrat razlike med vsako debelino in srednjo vrednostjo: {{0}}.0144, 0.0324, {{1{{12} }}}.1024, 0.0004, 0,0004, 0,0784, 0,0484, 0,0004, 0,0144, 0,0324.
●Seštejte te kvadratne razlike in poiščite povprečje: (0.0144 + 0.0324 + 0.1024 + 0.0004 + 0.0004 + 0.{{6} }.0484 + 0.0004 + 0.0144 + 0.0324)=0.3996.
●Na koncu izračunajte standardno deviacijo: σ=0.193.
