Kaj je raven rob silicijeve rezine?
Ravno lahko imenujemo tudi pozicionirni rob.
2, 4 in 6--palčne silicijeve rezine niso povsem okrogle, ampak imajo odrezan manjkajoči vogal. Ko je silicijev ingot izvlečen po metodi CZ, preden ga razrežejo na silicijeve rezine, ko je določena orientacija kristala, bo na ingotu z diamantno žago odrezan eden ali več ravnih robov. Zato ima silicijeva rezina 1-2 pozicionirne robove, dolgi pozicionirni rob je na dnu rezine, kratek pozicionirni rob pa ni fiksen v položaju in se spreminja glede na orientacijo kristala in vrsto dopinga.
Kakšno je razmerje med položajem pozicionirnega roba in orientacijo kristala?
Na splošno obstajajo tri vrste orientacije kristalov za silicijeve rezine:<111> <110> <100>.
Ko je kot med glavnim pozicionirnim robom in sekundarnim pozicionirnim robom 45 stopinj, je tip silicijeve rezine n-tip<111>; ko je kot med glavnim pozicionirnim robom in sekundarnim pozicionirnim robom 90 stopinj, je tip silicijeve rezine p-tip<100>; ko je kot med glavnim pozicionirnim robom in sekundarnim pozicionirnim robom 180 stopinj, je tip silicijeve rezine n-tip<100>. Odkar je<110>kristalna orientacija ni običajna kristalna orientacija silicijeve rezine, ni standarda, ki bi jo predstavljal. The<110>kristalno orientacijo je mogoče predstaviti v skladu z lastnimi standardi dobavitelja silicijeve rezine.
Ali sta dolžini primarnega in sekundarnega pozicionirnega roba določeni?
Da, ker se morajo ujemati z opremo za proizvodnjo polprevodnikov, so dolžine in položaji primarnega, primarnega in sekundarnega pozicionirnega roba fiksni.
Na splošno je dolžina primarnega pozicionirnega roba 2-palčne silicijeve rezine 15,8 mm, dolžina primarnega pozicionirnega roba 4-palčne silicijeve rezine 32,5 mm, dolžina primarne rezine pozicionirni rob 6-palčne silicijeve rezine je 57,5 mm. Dolžina sekundarnega pozicionirnega ravnega roba 4-palčne silicijeve rezine je približno 18 mm, dolžina sekundarnega pozicionirnega ravnega roba 6-palčne silicijeve rezine pa je približno 22 mm.